[发明专利]单晶炉多功能取晶棒车无效
申请号: | 201210017098.2 | 申请日: | 2012-01-19 |
公开(公告)号: | CN103215634A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 吴学军;周凯平 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人: | 马长增 |
地址: | 753000 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 单晶炉多功能取晶棒车属于金属冶炼机电技术领域,特别涉及单晶炉多功能取晶棒车;可夹持晶棒的取晶棒车卡抓等分定距离固定安装在取晶棒车主体立架上用于夹持从上炉体退出来的晶棒;籽晶绳上端连接提升装置,下端连接晶棒;可拆卸的取晶棒车提升架安装在取晶棒车主体立架上,可拆卸的取晶棒车提升架前端安装开口吊环用于挂接坩埚取出机构,盛放硅料的石英坩埚放在石墨坩埚内,石墨坩埚放置在坩埚取出机构内送进或退出热场;坩埚取出机构为整体框式结构,上端安装带有开口挂钩的三角提梁;实现了在同一单晶炉取晶棒车上完成取晶棒、安装盛料的石墨和石英坩埚、拆卸晶棒加工完成后取出石墨和石英坩埚,一车多用,解决了石英石墨坩埚取出工作强度大问题。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 多功能 取晶棒车 | ||
【主权项】:
单晶炉多功能取晶棒车,含有上炉体(1)、籽晶绳(2)、晶棒(3)、取晶棒车卡抓(4)、硅料(7)、石英坩埚(8)、石墨坩埚(9),其特征在于:还由取晶棒车提升架(5)、坩埚取出机构(6)组成;可夹持晶棒的取晶棒车卡抓(4)等分定距离固定安装在取晶棒车主体立架上用于夹持从上炉体(1)退出来的晶棒(3);籽晶绳(2)为多根细钨丝旋合而成,上端连接提升装置,下端连接晶棒(3);可拆卸的取晶棒车提升架(5)安装在取晶棒车主体立架上,可拆卸的取晶棒车提升架(5)前端安装开口吊环用于挂接坩埚取出机构(6),盛放硅料(7)的石英坩埚(8)放在石墨坩埚(9)内,石墨坩埚(9)放置在坩埚取出机构(6)内送进或退出热场。
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