[发明专利]宏微驱动二维一体式微定位平台有效
申请号: | 201210018470.1 | 申请日: | 2012-01-20 |
公开(公告)号: | CN102543217A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 徐青松 | 申请(专利权)人: | 澳门大学 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 温旭 |
地址: | 澳门氹仔徐*** | 国省代码: | 中国澳门;82 |
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摘要: | 本发明提供一种宏微驱动二维一体式微定位平台,其特征在于:包括基座、固定于基座上的柔顺性平台本体、与柔顺性平台本体连接的两个音圈电机、四个压电陶瓷驱动器和两个位移传感器,以及与所述两个音圈电机、四个压电陶瓷驱动器和两个位移传感器信号连接的控制器。本发明采用并联解耦全柔顺性机构,具有并联机构优点、柔顺性机构优点、解耦机构优点;宏动、微动平台一体式设计:可采用同一块材料一体加工出来,制造简便;宏动、微动平台运动解耦设计:易于进行运动控制,提高定位精度。 | ||
搜索关键词: | 驱动 二维 一体 式微 定位 平台 | ||
【主权项】:
一种宏微驱动二维一体式微定位平台,其特征在于:包括基座、固定于基座上的柔顺性平台本体、与柔顺性平台本体连接的两个音圈电机、四个压电陶瓷驱动器和两个位移传感器、以及与所述两个音圈电机、四个压电陶瓷驱动器和两个位移传感器信号连接的控制器。
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