[发明专利]一种凸非球面光学元件的面型检测装置

摘要

一种凸非球面光学元件的面型检测装置，涉及一种光学元件的检测装置。设有光源、反射镜、接收镜、检测平台、升降台和分析处理系统；反射镜设于光源光束前方，检测平台设于反射镜前方，接收镜设于光学元件前方，分析处理系统设于接收镜前方；检测平台自下而上依次设有垂直运动、摆动和回转机构；垂直运动机构设有底座、第1支承油腔、升降杆、丝杆电机、连接板、微调楔块和限位槽；摆动机构设有第3支承油腔、静压止推轴承、转轴、C轴工作台、摆动平台和伺服电机；回转机构设有马达和A轴工作台。结构简单，无机械效率损失，输出扭矩大，实现高定位精度、高动态响应和低噪声。具有承载能力高、旋转精度高、寿命长、均化误差等特点。

主权项

一种凸非球面光学元件的面型检测装置，其特征在于设有光源、反射镜、接收镜、检测平台、升降台和分析处理系统；所述反射镜设于光源的出射光束前方，检测平台设于反射镜的反射光束前方，接收镜设于被测光学元件的反射光束前方，分析处理系统设于接收镜的反射光束前方；所述检测平台自下而上依次设有垂直运动机构、摆动机构和回转机构；所述垂直运动机构设有底座、第1支承油腔、升降杆、丝杆电机、连接板、微调楔块和限位槽；所述微调楔块位于底座上，连接板固定在微调楔块上，连接板与丝杆电机通过滚珠丝杆连接；所述升降台由微调楔块支撑，附在升降台上的升降杆位于限位槽内，微调楔块与升降台的接触面上和升降杆与限位槽的接触面上开有第2支承油腔；所述摆动机构设有第3支承油腔、静压止推轴承、转轴、C轴工作台、摆动平台和伺服电机；C轴工作台固定在摆动平台上，摆动平台通过转轴连接在升降台上，伺服电机驱动转轴，进而带动摆动平台在平面内绕轴转动，所述转轴两端装有静压止推轴承，并固定在升降台上；第3支撑油腔设在升降台的凹槽内；所述回转机构设有马达和A轴工作台，所述马达位于C轴工作台上，马达与A轴工作台直接相连，马达驱动A轴工作台在平面内做回转运动；被测光学元件设于A轴工作台上。