[发明专利]一种低功耗阻变存储器结构及制备方法无效
申请号: | 201210019208.9 | 申请日: | 2012-01-20 |
公开(公告)号: | CN102593351A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 张丽杰;黄如;谭胜虎 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C13/00 |
代理公司: | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人: | 贾晓玲 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种阻变存储器及其制备方法,属于CMOS超大规模集成电路(ULSI)技术领域。该阻变存储器包括衬底,在衬底上设有下电极,在下电极上设有第一阻变层,在第一阻变层上设有第二阻变层,在第二阻变层上设有电子电流阻挡层,在电子电流阻挡层上设有上电极,上电极和电子电流阻挡层导带之间的能带差低于1eV。本发明可以有效地抑制电子电流,同时又不会减弱引起阻变的离子电流,能有效地降低功耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 功耗 存储器 结构 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种阻变存储器,其特征在于,包括衬底,在衬底上设有下电极,在下电极上设有第一阻变层,在第一阻变层上设有第二阻变层,在第二阻变层上设有电子电流阻挡层,在电子电流阻挡层上设有上电极,上电极和电子电流阻挡层导带之间的能带差低于1eV。
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