[发明专利]清洗液及清洗方法有效

专利信息
申请号: 201210019335.9 申请日: 2012-01-20
公开(公告)号: CN102628009A 公开(公告)日: 2012-08-08
发明(设计)人: 宫下雅之;久次米孝信;山本雅士;伊达和哉 申请(专利权)人: 斯泰拉化工公司
主分类号: C11D7/60 分类号: C11D7/60;C11D7/32;C11D7/08;C11D7/10;C11D10/02;H01L21/02;B08B3/08
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 金世煜;苗堃
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种清洗液及清洗方法。本发明的目的是提供对于表面附着有氧化铈的被清洗物,能够将该氧化铈以铈离子的形式溶解而清洗除去的清洗液以及使用该清洗液的清洗方法。一种清洗液,其特征在于,该清洗液除去被清洗物表面残留的氧化铈,该清洗液含有(1)氟化氢和(2)铵盐,所述铵盐是选自氯化铵、硝酸铵、硫酸铵、四甲基氯化铵、四甲基硝酸铵和四甲基硫酸铵中的至少1种。
搜索关键词: 清洗 方法
【主权项】:
一种清洗液,其特征在于,该清洗液除去残留于被清洗物表面的氧化铈,该清洗液含有:(1)氟化氢,和(2)铵盐,该铵盐是选自氯化铵、硝酸铵、硫酸铵、四甲基氯化铵、四甲基硝酸铵和四甲基硫酸铵中的至少1种。
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