[发明专利]一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置

摘要

本发明系提供一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，通过真空汞产生的热源藉由冷却水带走，间接加热冷却水使冷却水维持一定的温度回流至储水槽，而储水槽设有温度计及液位传感器，若温度超过设定温度则打开电磁阀使部分冷却水流至储水槽冷却储水槽温度其保持一定温度，而液位传感器动作时，排水管会排除多馀的水位，储水槽水经过水汞流经腔体冷却管路使腔体保持在设定的温度，不致于过低。因各子系统分别需要不同温度的冷却温度，使用真空汞散热温度间接加热冷却水的方式使其回流冷却腔体，勿需再设置加热系统或另设一套冷却装置，对于设备制造成本及节约能源有相当的效果。

主权项

一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，其包括储水槽、供水管路、水汞所组成。