[发明专利]半导体器件无效
申请号: | 201210021492.3 | 申请日: | 2012-01-31 |
公开(公告)号: | CN102629602A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 黛哲 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;G01R31/28 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 武玉琴;陈桂香 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种适用于半导体集成电路的评估电路的半导体器件,所述半导体器件包括:多个被测量器件;以及组合阵列布线,其包括多个单元阵列布线,各个所述单元阵列布线具有设置在不同层中的列布线和行布线,且各个所述单元阵列布线连接到所述多个被测量器件中的任一个,所述多个单元阵列布线设置在彼此不同的层中。因此,本发明能够通过将多个单元阵列布线布置成彼此部分重叠来增加被测量器件的布置密度。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,其包括:多个被测量器件;以及组合阵列布线,其包括多个单元阵列布线,各个所述单元阵列布线具有设置在不同层中的列布线和行布线,且各个所述单元阵列布线连接到所述多个被测量器件中的任一个,所述多个单元阵列布线设置在彼此不同的层中。
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