[发明专利]薄膜沉积系统

摘要

本发明提供一种薄膜沉积系统，用以形成至少一材料层在至少一基板上的系统，该系统包括一载台，载台沿着一载台轴进行旋转，至少一承座齿轮设置在载台上，承座齿轮与载台一起沿着载台轴进行旋转，至少两相邻的承座齿轮的齿纹将会有至少部分重叠且未相互接触，一中央齿轮啮合至承座齿轮，当各承座齿轮沿着载台轴进行旋转时，中央齿轮带动各承座齿轮沿着其各自对应的承座轴进行旋转。

主权项

一种薄膜沉积系统，用以形成至少一材料层在至少一基板上，其特征在于，该薄膜沉积系统包括：一载台，绕一载台轴旋转；至少一承座齿轮，设置在该载台之上，其中各承座齿轮与该载台一起绕该载台轴旋转，其中至少两相邻的该承座齿轮的齿纹至少部分重叠且未相互接触；及一中央齿轮，啮合该承座齿轮，其中当该承座齿轮沿着该载台轴旋转时，该中央齿轮带动该承座齿轮绕其各自对应的承座轴旋转。