[发明专利]有源元件

摘要

本申请提供一种有源元件，其包括一源极、一漏极、一氧化物半导体层、一栅极与一栅绝缘层。源极包括多个彼此平行的第一条状电极以及一连接第一条状电极的第一连接电极，漏极包括多个彼此平行的第二条状电极以及一连接第二条状电极的第二连接电极，其中第一条状电极与第二条状电极平行，彼此交替排列，并彼此电性绝缘，且之间存在一曲折沟槽，而栅极沿着曲折沟槽延伸。氧化物半导体层与源极以及漏极接触，其中氧化物半导体层与各第一条状电极的接触面积等于各第一条状电极的布局面积，且各第二条状电极的接触面积等于各第二条状电极的布局面积。本申请可在较小的布局面积内制作出具有相同通道宽度与通道长度的比值(W/L)的有源元件。

主权项

一种有源元件，包括：一源极，包括多个彼此平行的第一条状电极以及一连接所述多个第一条状电极的第一连接电极；一漏极，包括多个彼此平行的第二条状电极以及一连接所述多个第二条状电极的第二连接电极，其中所述多个第一条状电极与所述多个第二条状电极平行，并且交替排列于该第一连接电极与该第二连接电极之间，而该源极与该漏极电性绝缘，且该源极与该漏极之间存在一曲折沟槽；一氧化物半导体层，与该源极以及该漏极接触，其中该氧化物半导体层与各该第一条状电极的接触面积等于各该第一条状电极的布局面积，且各该第二条状电极的接触面积等于各该第二条状电极的布局面积；一栅极，沿着该曲折沟槽延伸；以及一栅绝缘层，配置于该栅极与该氧化物半导体层之间。