[发明专利]一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法有效
| 申请号： | 201210023696.0 | 申请日： | 2012-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN102545056A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 曹俊诚;万文坚;韩英军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01S5/34 | 分类号： | H01S5/34;H01S5/22;B82Y20/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法，该激光器包括单模产生区波导、锥形耦合区波导和表面发射区波导；单模产生区波导和锥形耦合区波导采用一阶光栅结构，表面发射区波导采用二阶光栅结构；单模产生区波导内部产生单模太赫兹种子光，锥形耦合区波导将所述太赫兹种子光放大并耦合到表面发射区波导，表面发射区波导使太赫兹激光垂直衬底表面出射。本发明实现了太赫兹量子级联激光器的大功率、窄线宽和小发散角太赫兹激光表面发射，在一定程度上抑制了横向高次模的激射，同时减少了波导之间的耦合损失和端面损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 发射 赫兹 量子 级联 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种表面发射太赫兹量子级联激光器，其特征在于：所述表面发射太赫兹量子级联激光器包括单模产生区波导、锥形耦合区波导和表面发射区波导；单模产生区波导和锥形耦合区波导采用一阶光栅结构，表面发射区波导采用二阶光栅结构；单模产生区波导内部产生单模太赫兹种子光，锥形耦合区波导将所述太赫兹种子光放大并耦合到表面发射区波导，表面发射区波导使太赫兹激光垂直衬底表面出射。
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