[发明专利]带位移自检测功能的3-DOF硅基平面并联定位平台及制作方法有效
| 申请号： | 201210023814.8 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN103241701A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 宋芳 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 宣慧兰 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及带位移自检测功能的3-DOF硅基平面并联定位平台及制作方法，该定位平台包括单晶硅基片和玻璃基片，单晶硅基片上设有载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链，载物台位于单晶硅基片的中央并可三自由度运动，载物台通过柔性铰链依次连接柔性支撑梁、折叠梁、静电梳齿致动器和检测梁，检测梁上集成有位移检测传感器，玻璃基片上设有与静电梳齿致动器连接的致动器驱动电极，单晶硅基片上的载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链采用体硅工艺在同一硅片上一体化加工形成。与现有技术相比，本发明集结构、驱动和位移检测于一体可实现各运动方向位移实时检测和控制，定位精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 检测 功能 dof 平面 并联 定位 平台 制作方法 | ||
【主权项】：
一种带位移自检测功能的3‑DOF硅基平面并联定位平台，其特征在于，包括单晶硅基片和玻璃基片，所述的单晶硅基片设在玻璃基片上方，单晶硅基片上设有载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链，所述的载物台位于单晶硅基片的中央并可三自由度运动，载物台通过柔性铰链依次连接柔性支撑梁、折叠梁、静电梳齿致动器和检测梁，所述的检测梁上集成有位移检测传感器，所述的玻璃基片上设有与静电梳齿致动器连接的致动器驱动电极。
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