[发明专利]共焦计测装置

摘要

本发明提供利用共焦光学系统计测计测对象物位移的共焦计测装置，能够抑制在对计测对象物的位移进行计测时因光波长而导致的精度变动。本发明是利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测的共焦计测装置。共焦计测装置100具有：白色LED21；衍射透镜1，使从白色LED21出射的光沿光轴方向产生色差；物镜2，配置在比衍射透镜1更靠近计测对象物200的一侧，使通过衍射透镜1而产生色差的光会聚在计测对象物200上；针孔，使通过物镜2而会聚的光中能够聚焦于计测对象物200上的光通过；波长测定部，测定通过了针孔的光的波长。衍射透镜1的焦距大于从衍射透镜1到物镜2的距离和物镜2的焦距之差。

主权项

一种共焦计测装置，利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测，其特征在于，具有：光源，其出射多个波长的光，衍射透镜，其使从所述光源出射的光，沿光轴方向产生色差，物镜，其配置在比所述衍射透镜更靠近所述计测对象物的一侧，用于使通过所述衍射透镜而产生了色差的光会聚在所述计测对象物上，针孔，其使通过所述物镜而会聚的光中的能够对焦于所述计测对象物上的光通过，测定部，其以波长为单位对通过了所述针孔的光的强度进行测定；所述衍射透镜的焦距，大于从所述衍射透镜到所述物镜为止的距离和所述物镜的焦距之差。