[发明专利]接合用浆料及半导体元件与基板的接合方法有效

专利信息
申请号: 201210026270.0 申请日: 2012-02-07
公开(公告)号: CN102642094A 公开(公告)日: 2012-08-22
发明(设计)人: 林芳昌;马渡芙弓;松浦大志;山崎和彦 申请(专利权)人: 三菱综合材料株式会社
主分类号: B23K35/22 分类号: B23K35/22;B23K35/30;B23K1/00;H01L23/492;H01L33/62;H01L33/00
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 康泉;王珍仙
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种接合用浆料及半导体元件与基板的接合方法。该接合用浆料含有(A)平均粒径为100nm以下的金属纳米粒子、(B)沸点为50~100℃的溶剂和(C)沸点为150~200℃的溶剂,相对于所述(B)组分和所述(C)组分的总计100质量份,所述(B)组分的含量为10~30质量份。该半导体元件与基板的接合方法具有:在基板上涂布所述接合用浆料,使所述接合用浆料干燥的工序;和在所述干燥后的接合用浆料上设置半导体元件,进行加热的工序。
搜索关键词: 接合 浆料 半导体 元件 方法
【主权项】:
一种接合用浆料,其特征在于,含有:(A)平均粒径为100nm以下的金属纳米粒子;(B)沸点为50~100℃的溶剂;和(C)沸点为150~200℃的溶剂,相对于所述(B)组分和所述(C)组分的总计100质量份,所述(B)组分的含量为10~30质量份。
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