[发明专利]电弧法石英玻璃坩埚缺陷返修的方法

摘要

本发明涉及一种对电弧法生产石英玻璃坩埚缺陷进行返修的方法，属石英玻璃坩埚制造技术领域。它是针对石英玻璃坩埚在生产时产生的表面和内部缺陷，使用相同质量的石英玻璃棒，通过氢氧气熔化石英玻璃棒和坩埚进行修补，再通过机械研磨磨平修补产生的凹凸不平，然后使用氢氧气火焰进行抛光，最后进行退火处理减少坩埚的应力，使其成为合格坩埚的方法。本发明能去除坩埚中的气泡、黑点和其它异物产生的缺陷，使其成为合格产品。提高了石英玻璃坩埚的生产合格率，降低了坩埚的生产成本。且返修时方法简单，操作方便，能耗小，对坩埚体不造成损害，修补时坩埚体不会破裂，返工修补合格率高，适用于18～28英寸具有缺陷的石英玻璃坩埚的修补。

主权项

一种电弧法石英玻璃坩埚缺陷返修的方法，其特征在于：它由下述的步骤构成：第一步：将18～28英寸的体内带有的黑点、气泡、凹坑及其他非石英玻璃物等缺陷的石英玻璃坩埚进行机械研磨或钻磨，通过研磨或钻磨去除掉石英玻璃坩埚体内的缺陷，研磨后的坩埚所形成的凹坑比缺陷略大；第二步：采用与需要修补的石英玻璃坩埚相同的坩埚片加工成条形或圆形小棒；或采用连熔炉、电熔炉或氢氧气火焰把与需要修补的石英玻璃坩埚同质的石英砂烧制成小棒；第三步：将需要修补的石英玻璃坩埚放在比其大的石英玻璃保温炉或退火炉中，对其进行预热，预热温度为450～750℃最佳温度为550～650℃，预热时间为1.5～2小时；保温炉或退火炉可以不旋转，也可以每分钟5～15转的速度旋转；第四步：坩埚预热后，开始进行补焊作业，方法为：（1）、按正确的方法把金属切割枪或玻璃灯工枪连接好氢气和氧气，点燃后调整燃烧火焰，得到充分的燃烧火焰；（2）、使用火焰的外焰煅烧研磨后需要补焊的地方，煅烧到白亮为止，温度在1700～1900℃；（3）、把“第二步”加工的石英玻璃条或棒通过氢氧气火焰加热到白亮，把石英玻璃条或棒轻点需要补焊处，使条或棒上的玻璃粘到坩埚上，来填平之前研磨的凹坑；补焊作业时氢气流量为1.0～2.4m3/h，氧气流量为0.4～1.0 m3/h，燃烧的温度控制在1700～2000℃；第五步：将补焊后的坩埚迅速放入退火炉内进行退火处理；退火炉内的退火温度为1000～1200℃，退火时间为5～10小时；第六步：退火后对坩埚补焊的地方进行研磨，把补焊的部位研磨平整；研磨方法与“第一步”相同；第七步：对坩埚研磨平整的地方使用氢氧气火焰进行抛光处理；抛光使用金属切割枪或玻璃灯工枪进行，调整氢氧气流量的大小来调整火焰的大小和温度，把火焰的外焰对准第六步处理的位置，煅烧到白亮为止，温度在1700～1900℃，氢气流量为2.0～4.8m3/h，氧气流量为0.8～2.0 m3/h；第八步：对抛光好的坩埚再一次进行退火处理，退火方法与第五步的退火方法相同；第九步：将退火处理后的坩埚进行酸洗和水洗作业后即完成石英玻璃坩埚的缺陷返修，检验合格后包装入库；酸洗和水洗作业过程与合格坩埚产品在生产过程中的作业过程相同。