[发明专利]一种等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201210028082.1 | 申请日： | 2012-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN103247509A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 张阳 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子体加工设备，包括反应腔室、固定在所述反应腔室的室壁上的提升机构以及与所述提升机构连接的用于推动被加工工件移动的顶针系统，所述提升机构包括驱动单元和传递单元，所述传递单元的一端与所述顶针系统连接，另一端与所述驱动单元连接，借助所述传递单元将所述驱动单元的动力传递到所述顶针系统，以使所述顶针系统作直线往复运动，其中，所述驱动单元为直线电机，所述直线电机的定子固定在所述反应腔室上，所述传递单元与所述直线电机的动子连接。本发明提供的等离子体加工设备不仅体积小，结构简单，而且加工精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子体加工设备，包括反应腔室、固定在所述反应腔室的室壁上的提升机构以及与所述提升机构连接的用于推动被加工工件移动的顶针系统，所述提升机构包括驱动单元和传递单元，所述传递单元的一端与所述顶针系统连接，另一端与所述驱动单元连接，借助所述传递单元将所述驱动单元的动力传递到所述顶针系统，以使所述顶针系统作直线往复运动，其特征在于，所述驱动单元为直线电机，所述直线电机的定子固定在所述反应腔室上，所述传递单元与所述直线电机的动子连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210028082.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
