[发明专利]光刻机在扫描工作模式下提高数字微镜阵列数据传输速度的方法

摘要

本发明公开了一种光刻机在扫描工作模式下提高数字微镜阵列数据传输速度的方法，通过使用两个ram将一副图像的行数据无处理的转化为数字微镜阵列示格式一致的数据，存储到DDR2中，再将DDR2中的一副图像数据中的一般存放到FPGA自带的ram缓存中，利用缓存的高速数据传输，实现数字微镜阵列数据传输速度的提高。本发明利用两个ram将一副图像的行数据无处理的转化为数字微镜阵列显示格式一致的数据，减少了FPGA的资源利用，利用缓存传输数据，提高了数据的传输速度，从而满足光刻机在高产能下数据传输速度要求。

主权项

一种光刻机在扫描工作模式下提高数字微镜阵列数据传输速度的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）从上位机通过PCIE总线传输图像数据到FPGA中，传输的图像数据可以设置一包数据的大小，但是设置的数据必须是一副图像中一行数据的整数倍；2)将一行数据的前半行存贮在ram1中，将后半行数据存贮在ram2中，当ram中的数据向DDR2中写入时，同时从ram1、ram2中读取数据，合并成一个数据写入DDR2中；3)读DDR2数据时，利用FPGA内部的ram资源，设置3个ram块，1个fifo；先将DDR2中的数据写入fifo，当fifo写满之后，将DDR2中的数据写入一行到ram3中，接着把DDR2中的数据写入fifo中，当fifo写满之后，将DDR2中的数据写入一行到ram4中，再接着把DDR2中的数据写入fifo中，当fifo写满之后，将DDR2中的数据写入一行到ram5中，接着把DDR2中的数据写入fifo中，当fifo写满之后，一副图像数据就传输完成；在DDR2向ram块和fifo写数据的同时，ram块和fifo中的数据按照写入的顺序被读到数字微镜阵列上。