[发明专利]石墨加热炉

摘要

本发明涉及一种结构简单且即使在整个炉体内填充氮气也能够抑制氰气的产生的石墨加热炉。石墨加热炉(100)具备：向炉体(6)内供给氮气的氮气供给部(8)、将炉体(6)内的炉体内气体向炉体(6)外排出的排气部(9)、作为将炉体内气体向炉体(6)外排放的排放部的间隙(6a)、(6b)。被供给到炉体(6)内的氮气的露点温度是-80℃以下，炉体(6)内的压力相对于炉体(6)外的大气压是140Pa以上。

主权项

一种光纤母材的制造方法，其特征在于，包括对光纤用多孔质母材进行脱水和烧结的工序，在所述对光纤用多孔质母材进行脱水和烧结的工序中，使用炉体内的至少一部分利用石墨形成的石墨加热炉，所述石墨加热炉具有：气体供给部，其向所述炉体内供给氮气；排气部，其将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出，被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是‑80℃以下，所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。