[发明专利]基于具有定位传感以及伺服控制的挠曲致动器的光束控制

摘要

利用挠曲部对致动器提供支撑以及向致动器提供旋转机制的致动器的实施。这种致动器可以是电磁激活致动器，并包括磁定子和安装在挠曲部上的线圈转子。定位传感器例如电容传感器被设置为测量并监视致动器的定位，定位传感器耦接至反馈电路，反馈电路利用测量的致动器的定位信息来控制该致动器。

主权项

一种致动器装置，包括：支撑底座；第一挠曲部，包括第一挠曲底座以及第一挠曲延伸部，所述第一挠曲底座固定至所述支撑底座，所述第一挠曲延伸部相对于所固定的第一挠曲底座以及所述支撑底座弯曲；第二挠曲部，包括第二挠曲底座以及一个或多个第二挠曲延伸部，所述第二挠曲底座固定至所述支撑底座，所述第二挠曲延伸部相对于所固定的第二挠曲底座和所述支撑底座弯曲，所述第二挠曲部被定位以及定向以使得所述第一挠曲延伸部与所述第二挠曲延伸部交叉；致动器，与所述第一挠曲延伸部和第二挠曲延伸部的远端接合，从而在所述致动器被激活转动时随着所述第一挠曲延伸部和所述第二挠曲延伸部变形而围绕单旋转轴线转动，所述致动器电耦合至所述第一挠曲延伸部以通过所述第一挠曲延伸部接收电力致动器驱动信号，从而使所述致动器转动以及保持位置；镜，接合至所述致动器以随着所述致动器一同运动并与所述致动器一同静止；导电传感板，固定至所述镜或所述致动器；电容传感装置，相对于所述支撑底座固定在适当位置，并且包括两个导电板，所述两个导电板彼此分离以形成间隙，所述导电传感板部分插入所述间隙中；第三挠曲部，包括第三挠曲底座和第三挠曲延伸部，所述第三挠曲底座固定至所述支撑底座，所述第三挠曲延伸部的一端连接至所述第三挠曲底座，另一端连接至所述导电传感板，所述第三挠曲部形成与所述第一挠曲部以及其中的电力致动器驱动信号电绝缘的导电通路；定位传感电路，与所述第三挠曲部耦合以施加被导向所述导电传感板的电传感信号，所述定位传感电路包括处理电路，所述处理电路从所述导电板接收第一电信号和第二电信号并根据所接收的第一电信 号和第二电信号产生位置信号，所述位置信号指示所述导电板相对于多个导电板之一的相对位置；以及伺服控制电路，耦合至所述定位传感电路和所述致动器，所述伺服控制电路基于所述位置信号可操作地产生伺服控制信号，以及基于所述位置信号可操作地控制所述致动器。