[发明专利]一种高精度电迁移预警电路有效

专利信息
申请号: 201210029638.9 申请日: 2012-02-10
公开(公告)号: CN102590629B 公开(公告)日: 2017-06-06
发明(设计)人: 恩云飞;陈义强;李彦宏;章晓文;朱樟明;刘帘曦;陆裕东;陈媛 申请(专利权)人: 工业和信息化部电子第五研究所
主分类号: G01R27/14 分类号: G01R27/14;G01R17/00
代理公司: 广州三环专利代理有限公司44202 代理人: 何传锋,程跃华
地址: 510610 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种高精度电迁移预警电路,它包括互连线测试结构、两级低增益放大器、高增益比较器和输出级,互连线测试结构的输出端与两级低增益放大器的输入端相连,两级低增益放大器的输出端与高增益比较器的输入端连接,高增益比较器的输出端与输出级连接。
搜索关键词: 一种 高精度 迁移 预警 电路
【主权项】:
一种高精度电迁移预警电路,其特征在于,它包括互连线测试结构、两级低增益放大器、高增益比较器和输出级,互连线测试结构的输出端与两级低增益放大器的输入端相连,两级低增益放大器的输出端与高增益比较器的输入端连接,高增益比较器的输出端与输出级连接;所述互连线测试结构包括第一金属导线(15)、第二金属导线(16)、第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)、应力电流源(11)、测试电流源(12)、二极管连接方式的NMOS管(19)、第一开关(13)、第二开关(14);第一金属导线(15)和第二金属导线(16)的长度、宽度均相同,第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)的阻值大小之比为1:1.2;第一金属导线(15)、第二金属导线(16)串联后与第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)串联后并联,应力电流源(11)通过第一开关(13)连接到第一金属导线(15)、第二金属导线(16)的串联交点处,第二金属导线(16)与第二多晶硅电阻(18)的交点通过第一开关(13)连接到地,二极管连接方式的NMOS管(19)的漏端接到第二金属导线(16)与第二多晶硅电阻(18)的交点处,源端接地,测试电流源(12)通过第二开关(14)连接到第一金属导线(15)与第一多晶硅电阻(17)的交点处,从第一金属导线(15)、第二金属导线(16)的交点处以及第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)的交点处分别引出互连线测试结构的输出信号。
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