[发明专利]一种高精度电迁移预警电路有效
申请号: | 201210029638.9 | 申请日: | 2012-02-10 |
公开(公告)号: | CN102590629B | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 恩云飞;陈义强;李彦宏;章晓文;朱樟明;刘帘曦;陆裕东;陈媛 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所 |
主分类号: | G01R27/14 | 分类号: | G01R27/14;G01R17/00 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人: | 何传锋,程跃华 |
地址: | 510610 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种高精度电迁移预警电路,它包括互连线测试结构、两级低增益放大器、高增益比较器和输出级,互连线测试结构的输出端与两级低增益放大器的输入端相连,两级低增益放大器的输出端与高增益比较器的输入端连接,高增益比较器的输出端与输出级连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 迁移 预警 电路 | ||
【主权项】:
一种高精度电迁移预警电路,其特征在于,它包括互连线测试结构、两级低增益放大器、高增益比较器和输出级,互连线测试结构的输出端与两级低增益放大器的输入端相连,两级低增益放大器的输出端与高增益比较器的输入端连接,高增益比较器的输出端与输出级连接;所述互连线测试结构包括第一金属导线(15)、第二金属导线(16)、第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)、应力电流源(11)、测试电流源(12)、二极管连接方式的NMOS管(19)、第一开关(13)、第二开关(14);第一金属导线(15)和第二金属导线(16)的长度、宽度均相同,第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)的阻值大小之比为1:1.2;第一金属导线(15)、第二金属导线(16)串联后与第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)串联后并联,应力电流源(11)通过第一开关(13)连接到第一金属导线(15)、第二金属导线(16)的串联交点处,第二金属导线(16)与第二多晶硅电阻(18)的交点通过第一开关(13)连接到地,二极管连接方式的NMOS管(19)的漏端接到第二金属导线(16)与第二多晶硅电阻(18)的交点处,源端接地,测试电流源(12)通过第二开关(14)连接到第一金属导线(15)与第一多晶硅电阻(17)的交点处,从第一金属导线(15)、第二金属导线(16)的交点处以及第一多晶硅电阻(17)、第二多晶硅电阻(18)的交点处分别引出互连线测试结构的输出信号。
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