[发明专利]一种凹面镜反射成像式光杠杆微位移测量系统

摘要

本发明涉及一种凹面镜反射成像式光杠杆微位移测量系统，包括凹面镜反射成像式光杠杆、平行光筒、支架、标尺以及电源。光杠杆的后脚尖放在待测物体上顶端，前脚尖放在平台上，凹面镜固定于前脚尖正上方，平行灯筒和标尺安装在支架上，与凹面镜相对。本系统能精确对微小位移进行高精度地测定，制造成本低、检测速度快、精度高、可靠性强、形象直观，操作简单。

主权项

1.一种凹面镜反射成像式光杠杆微位移测量系统，包括凹面镜反射成像式光杠杆、平行光筒、支架和标尺；其特征在于：所述的凹面镜反射成像式光杠杆包括第一支架（8）、光杠杆（7）和球面镜（6）；光杠杆（7）的后脚尖（7-1）放置于待测物体的上端，前脚尖（7-2、7-3）放置于支架（8）的上端平台上，球面镜（6）固定于光杠杆的前脚尖（7-2、7-3）的正上方，球面镜（6）的前后倾角可以调节；所述的平行光筒（2）和标尺（4）安装在第二支架（5）上；所述平行光筒（2）包括外筒（2-2）、从前往后依次装在外筒（2-2）内的玻璃镜片（2-1）、会聚透镜（2-3）和灯泡（2-4）；玻璃镜片（2-1）上刻“十”字标线，会聚透镜（2-3）和灯泡（（2-4）之间的外筒（2-2）部分带可以调节外筒长短的螺纹（2-5），所述平行光筒（2）通过电源线（3）接电源（1），平行光筒（2）的平行光束正射到球面镜（6）；所述标尺（4）为毫米刻度尺，光线经球面镜（6）发射后在标尺（4）上某一刻度处（B）成清晰的“十”字像；当光杠杆（7）的后脚尖（7-1）下端发生微小位移ΔL时，球面镜（6）发生倾斜，上述“十”字像在标尺（4）上的刻度变化到另一刻度（A），测量“十”字像在标尺（4）上的刻度变化量Δn、平行光筒（2）到光杠杆前脚尖（7-2、7-3）的距离D、光杠杆前脚尖（7-2、7-3）和后脚尖（7-1）的距离b，根据公式，计算得到微小位移ΔL。