[发明专利]一种低成本溶液方法制备太阳电池吸收层材料Cu2ZnSnS4的制备方法有效
申请号: | 201210030399.9 | 申请日: | 2012-02-13 |
公开(公告)号: | CN102593246A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 高超;沈鸿烈 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 李纪昌 |
地址: | 210016*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种低成本溶液方法制备太阳电池吸收层材料Cu2ZnSnS4的制备方法,属于太阳电池材料与器件技术领域。本发明首先使用连续离子层吸附沉积在衬底上沉积含铜、锡的二元或三元硫化物混合薄膜,随后再在其上使用化学浴沉积一层硫化锌薄膜得到前驱薄膜。将前驱薄膜在硫气氛中以一定的工艺退火处理得到Cu2ZnSnS4吸收层。本发明的优点在于:原材料来源丰富且价格低廉、无需复杂设备,制备工艺简单、制备成本低、薄膜成分及厚度可控。 | ||
搜索关键词: | 一种 低成本 溶液 方法 制备 太阳电池 吸收 材料 cu sub znsns | ||
【主权项】:
一种低成本溶液方法制备太阳电池吸收层材料Cu2ZnSnS4的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:首先对衬底表面进行清洗;将衬底依次放入阳离子混合溶液,去离子水,阴离子溶液,去离子水中,在室温下进行连续离子层吸附沉积,在衬底上生成含铜、锡的二元或三元硫化物混合薄膜;其中所述的阳离子溶液为含铜盐和亚锡盐的混合溶液,阳离子溶液中铜盐及亚锡盐的浓度分别为0.02 M‑0.04 M及0.04 M‑0.08 M;阴离子溶液使用硫化铵、硫化钠或硫化钾中任意一种的溶液,硫离子的总浓度为0.02 M‑0.1 M;沉积周期为40‑80周期;在步骤(1)获得的铜、锡的二元或三元硫化物混合薄膜表面上用化学浴法沉积一层ZnS薄膜;其中沉积溶液为包含锌盐,配位剂及含硫小分子化合物的混合溶液;混合溶液中锌盐、配位剂及含硫小分子化合物的浓度分别为0.02‑0.08 M、0.02‑0.2 M及0.02‑0.2 M,沉积温度为40‑90 ℃,沉积时间为1‑5h,获得前驱薄膜;将步骤(2)的前驱薄膜在硫气氛下热处理,在400‑600 ℃下退火1‑5 h得到Cu2ZnSnS4薄膜;硫化退火所使用的硫源为固态硫或气态硫中的一种;最终得到Cu2ZnSnS4薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京航空航天大学,未经南京航空航天大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210030399.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的