[发明专利]用于半导体装置的组装夹具及用于半导体组装的组装方法有效
申请号: | 201210031704.6 | 申请日: | 2012-02-01 |
公开(公告)号: | CN102637621A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 高桥秀明 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 浦易文 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的时提供一种用于半导体装置的组装夹具和组装方法,其中在将半导体芯片焊接到封装衬底上的过程中使组装夹具和封装衬底的上表面之间的间隙小于半导体芯片的厚度与焊料厚度之和。在本发明的组装夹具和方法中,当封装衬底(21)在熔化焊料的温度下向上凹入变形时,可通过允许芯片定位件(1)的底面(2a)的一部分由于芯片定位夹具本身的重量而总是与封装衬底(21)的上表面(22)接触来使组装夹具(100)和封装衬底(21)之间的间隙T1比半导体芯片(31)的厚度W1与熔融的焊料(32a)的厚度W2a之和的尺寸T2小。由此,半导体芯片(31)不会从芯片定位件(1)的开口(5)旁边滑出。因此,半导体芯片(31)精确地定位在封装衬底(21)上。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体 装置 组装 夹具 方法 | ||
【主权项】:
一种用于半导体装置的组装夹具包括:用于使封装衬底定位的外框架,所述外框架定位和安装在冷却基底上;呈平板形状的内定位件,所述内定位件通过所述外框架定位并安装在所述封装衬底上;以及芯片定位件,所述芯片定位件通过形成于所述内定位件内的开口来定位并被允许沿垂直方向独立地相对于所述内定位件运动;其中,穿过所述内定位件内的所述开口的芯片定位件的长度大于所述内定位件的厚度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造