[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201210032437.4 | 申请日: | 2012-02-14 |
公开(公告)号: | CN102637794A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 李商文;尹义埈;朴珍燮;朴成铉 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社;首尔大学校产学协力团 |
主分类号: | H01L33/04 | 分类号: | H01L33/04;H01L33/20;H01L33/12;H01L33/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了半导体器件及其制造方法。所述半导体器件包括:第一非平坦、非极性氮化物半导体层,具有三维(3D)表面形式并由非极性氮化物半导体形成;第一结构层,形成在所述第一非平坦、非极性氮化物半导体层的表面的至少一部分上并包括多个固体颗粒;及第一非极性氮化物半导体层,形成在所述第一非平坦、非极性氮化物半导体层和所述第一结构层上。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:第一非平坦、非极性氮化物半导体层,具有三维表面形式并由非极性氮化物半导体形成;第一结构层,形成在所述第一非平坦、非极性氮化物半导体层的表面的至少一部分上并包括多个固体颗粒;及第一非极性氮化物半导体层,形成在所述第一非平坦、非极性氮化物半导体层和所述第一结构层上。
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