[发明专利]应用于激光切割的同轴CCD成像系统无效
| 申请号： | 201210032496.1 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102554463A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黄见洪;翁文;吴鸿春;刘华刚;葛燕;阮开明;邓晶;郑晖;李锦辉;史斐;戴殊韬;林文雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | B23K26/03 | 分类号： | B23K26/03;B23K26/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种应用于激光切割的同轴CCD成像系统，属光电子领域，可应用于激光切割，激光钻孔等激光加工方面。本发明包括低倍CCD成像组件，上高倍CCD成像组件和下高倍CCD成像组件等三个成像组件，三个成像组件在同一个光轴上对工件进行成像；激光从水平方向入射，经过聚焦镜组汇聚和45度激光全反镜反射聚焦于工件上进行加工；三个CCD成像组件通过激光加工光轴同轴成像。本发明中三个CCD成像组件不需要特殊设计，都可以采用市面上成熟的镜组，不仅能满足LED晶圆激光切割高精度的成像要求，同时大大降低了设备成本，对于提高设备厂家的经济效益具有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 激光 切割 同轴 ccd 成像 系统 | ||
【主权项】：
一种应用于激光切割的同轴CCD成像系统，由LED点光源(1)，低倍CCD成像组件(2)，上高倍CCD成像组件(3)，45度照明光全反镜(4)，45度照明光分光镜(5，6)，45度激光全反镜(8，10，11)，聚焦镜组(9)，环形LED光源(13)，以及下高倍CCD成像组件(14)组成；紫外激光经(12)经过45度激光全反镜(11`，10)全反后，从水平方向通过聚焦镜组(9)汇聚，经过45度激光全反镜(8)全反聚焦于工件(7)上进行加工；在45度激光全反镜(8)上方，LED点光源(1)，低倍CCD成像组件(2)和上高倍CCD成像组件(3)三者自上而下排列；低倍CCD成像组件(2)和上高倍CCD成像组件(3)经过45度照明光分光镜(5，6)和45度激光全反镜(8)对工件(7)进行成像；LED点光源(1)和环形LED光源(13)分别从上方和下方对工件(7)进行照明；下高倍CCD成像组件(14)从下方对工件(7)进行成像；三个CCD成像组件成像光轴与激光光轴是同轴的。
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