[发明专利]柔性CIGS薄膜太阳电池中无镉缓冲层的制备方法

摘要

本发明公开了一种关于柔性CIGS薄膜太阳电池中无镉缓冲层的制备方法，此方法是化学水浴沉积法，制备的无镉缓冲层为硫化锌薄膜。该法的优势在于工艺简单、制备面积大、成本低、设备简单、不要求真空系统、沉积温度较低，可生长出稳定性好、质量高的多晶或非晶半导体薄膜。更重要的是制备硫化锌的过程不存在环境污染。化学水浴法沉积硫化锌薄膜包括以下步骤：步骤一，在柔性衬底依次沉积阻挡层、背电极层和CIGS吸收层，形成样品；步骤二，配制好含有锌源、硫源、络合剂和缓冲剂的反应溶液；步骤三，将样品置于反应溶液中，搅拌加热开始进行制膜；步骤四，将样品干燥处理备用。

主权项

硫化锌缓冲层的制备方法，是在柔性衬底(柔性衬底上附着阻挡层、背电极层及CIGS吸收层，以下简称样品)上形成硫化锌薄膜，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一，在柔性衬底上依次沉积阻挡层、背电极层和CIGS吸收层；步骤二，配制好含有锌源、硫源、络合剂和缓冲剂的溶液，形成反应溶液；步骤三，将样品置于反应溶液中，搅拌加热开始进行制膜；步骤四，将样品非沉积面擦拭掉，干燥后备用。