[发明专利]光学检测装置

摘要

一种光学检测装置，用于检测一形成有穿孔的覆晶基板，该光学检测装置包括一孔径扫描单元及一取像单元。所述孔径扫描单元包含一用以发出照射于覆晶基板绝缘层的光线的第一光源模块以及一用以发出可穿透绝缘层并照射于焊垫的光线的第二光源模块。所述取像单元包含一用以接收覆晶基板的绝缘层与焊垫所反射光线的摄像模块，且摄像模块经第一光源模块取得一呈现有穿孔孔径的第一影像，并经第二光源模块取得一呈现有焊垫表面外径的第二影像。由此，提供一种可更为精确检测覆晶基板的光学检测装置。

主权项

一种光学检测装置，用于检测一覆晶基板，该覆晶基板包含有一板体、至少一形成于该板体的焊垫、及一形成于该板体的绝缘层，该绝缘层覆盖于该至少一焊垫的部分区域且形成有至少一穿孔，该焊垫经该穿孔而暴露于外，其特征在于，该光学检测装置包括：一孔径扫描单元，其包含一用以发出照射于该覆晶基板绝缘层的光线的第一光源模块以及一用以发出可穿透该绝缘层并照射于该焊垫的光线的第二光源模块；以及一取像单元，其包含一用以接收该覆晶基板绝缘层和焊垫所反射光线的摄像模块，该摄像模块经该第一光源模块取得一呈现有该穿孔孔径的一第一影像，该摄像模块经该第二光源模块取得一呈现有该焊垫表面外径的一第二影像。