[发明专利]一种测多维力的压电石英晶组及制作方法有效
| 申请号： | 201210037429.9 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN102564656A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 贾振元;任宗金;刘巍;王福吉 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L5/16 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 关慧贞 |
| 地址： | 116100*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明一种测多维力的压电石英晶组及制作方法，属于压电式传感器领域，涉及在多维力作用下，石英晶片面域电荷分布规律制作多维力测量的压电式石英晶组。压电石英晶组由X0切型的石英单元晶组、第一个、第二个Y0切型的石英单元晶组以及两片接地电极构成。压电石英晶组利用两片X0切型的石英晶片在法向力、除法向转矩外的另外两个转矩的作用下产生耦合感生电荷的方法，采用多电极布置、多区域电荷输出叠加的解耦方法，实现三个力或力矩的测量；再利用四片Y0切型的石英晶片实现两个切向力和法向转矩的测量，实现了空间六维力的测量。该制作方法简单、工艺性好、稳定好，便于封装、成本小。可应用于机械加工、航空航天、国防等领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多维 压电 石英 制作方法 | ||
【主权项】：
一种测多维力的压电石英晶组，其特征是，压电石英晶组由X0切型的石英单元晶组(3)、第一个Y0切型的石英单元晶组(1)、第二个Y0切型的石英单元晶组(2)以及第一、第二两片接地电极(4)构成；其中，X0切型的石英单元晶组(3)由X0切型的第一、第二石英晶片(51、52)和四片相同形状的X0引出电极(6)组成；第一个Y0切型的石英单元晶组(1)由Y0切型的第一、第二石英晶片(71、72)和一片Y0整体引出电极(8)组成；第二个Y0切型的石英单元晶组(2)由Y0切型的第三、第四石英晶片(73、74)和两片形状相同的Y0引出电极(9)组成。
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