[发明专利]固体摄像装置及其制造方法以及电子设备

摘要

本发明涉及一种固体摄像装置、及其制造方法和电子设备。所述固体摄像装置包括：多个光电转换部，其各自设置为对应于半导体基板中的多个像素中的每一个，并且所述多个光电转换部通过感光面接收入射光；以及像素分离部，在入射光进入的所述半导体基板的入射表面侧中，所述像素分离部被埋入至在所述光电转换部的侧部设置的沟槽中并且将所述多个像素电隔离。所述像素分离部是通过可以吸收进入所述感光面的入射光的绝缘材料形成的。根据本发明的固体摄像装置、及其制造方法和电子设备，能够提高拍摄图像的质量等。

主权项

一种固体摄像装置，其包括：多个光电转换部，其各自设置为对应于半导体基板中的多个像素中的每一个，并且所述多个光电转换部通过感光面接收入射光；以及像素分离部，在所述入射光进入的所述半导体基板的入射表面侧，所述像素分离部被埋入至在所述光电转换部的侧部设置的沟槽中并且将所述多个像素电隔离，其中，所述像素分离部是由可以吸收进入所述感光面的所述入射光的绝缘材料形成的。