[发明专利]一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201210041329.3 | 申请日： | 2012-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102586736A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘孝宁;刘秉宁;孙本双;征卫星;杨小林;王廷东;马建保;韩建华 | 申请（专利权）人： | 西北稀有金属材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C04B35/453;C04B35/624;C04B35/64 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法，其特点是化学式为：ZnxAlyMz，其中Al为第一掺杂剂，第二掺杂剂M为选自W、Mo、Nb、Zr、Ce和V中至少一种，其中以原子百分比计91.5＜x＜98.9；1＜y＜7；0.1＜z＜1.5。与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：工艺设备简单，成本较低，易于工业化生产。相较于单一Al2O3掺杂AZO靶材，其溅射镀膜层具有高可见光透过率(≥90％)和近近红外(800-1800nm)高透光性(≥75％)及提高的耐湿热(60℃，90％RH湿度)特性(附表)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化锌 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种掺杂氧化锌基溅射靶材，其特征在于化学式为：ZnxAlyMz，其中Al为第一掺杂剂，第二掺杂剂M为选自W、Mo、Nb、Zr、Ce和V中至少一种，其中以原子百分比计91.5＜x＜98.9；1＜y＜7；0.1＜z＜1.5。
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