[发明专利]工件台和掩模台的同步控制方法及其系统

摘要

提供了一种工件台和掩模台的同步控制方法，所述工件台和所述掩模台安装在光刻机的整机框架上，包括以下步骤：获取所述工件台的伺服误差和所述掩模台的伺服误差；将所述工件台的伺服误差减去掩模台的伺服误差除以镜头倍率后的差，再乘以掩模台的伺服刚度并乘以镜头倍率，输入到所述掩模台的力信号处，以进行力信号补偿。本发明提出的同步控制策略相比现有的控制方案，在增加了上述补偿步骤后，有效的提高了工件台掩模台各轴同步稳定时间。

主权项

一种工件台和掩模台的同步控制方法，所述工件台和所述掩模台安装在光刻机的整机框架上，其特征在于：包括以下步骤：设定所述工件台的期望位置信号，所述掩模台的期望位置信号设为0；测量所述工件台的实际位置信号，通过所述工件台的期望位置信号和实际位置信号之差，获取所述工件台的伺服误差；测量所述掩模台的实际位置信号，通过所述掩模台的期望位置信号和实际位置信号之差，获取所述掩模台的伺服误差；将所述工件台的伺服误差乘以光刻机的镜头倍率减入到所述掩模台的伺服误差中同步；将所述工件台的伺服误差减去所述掩模台的伺服误差除以镜头倍率后的差，再乘以所述掩模台的伺服刚度并乘以镜头倍率减入到掩模台的力信号处，以进行同步。