[发明专利]硅片边缘保护装置

摘要

本发明公开了一种硅片边缘保护装置，包括基座、轴承、气缸、偏心凸轮盘、至少三个凸轮随动器、至少三个保护爪、至少三个线轨、至少三个挡块以及至少三个导向螺杆。轴承具有可相对运动的外环与内环，内环与基座保持相对静止。气缸具有固定端与活动端，固定端固定于基座。偏心凸轮盘与外环保持相对静止，且可转动地设置于基座上且连接于活动端，偏心凸轮盘具有至少三个均匀分布的偏心槽，且偏心槽包括偏心圆弧，其圆心与偏心凸轮盘的圆心不一致。凸轮随动器可活动地与偏心槽对应设置。保护爪与凸轮随动器对应连接设置。本发明将直线位移转化为多个等分径向位移，以实现通过一个动力源完成多个径向同步力，结构简单，摩擦力小，精度高，同步性高。

主权项

一种硅片边缘保护装置，其特征在于，包括：基座；轴承，具有可相对运动的外环与内环，所述内环与所述基座保持相对静止；气缸，具有固定端与活动端，所述固定端固定于所述基座；偏心凸轮盘，与所述轴承的外环保持相对静止，所述偏心凸轮盘可转动地设置于所述基座上且连接于所述活动端，所述偏心凸轮盘具有至少三个均匀分布的偏心槽，且每一个所述偏心槽包括偏心圆弧，所述偏心圆弧的圆心与所述偏心凸轮盘的圆心不一致；至少三个凸轮随动器，可活动地分别与所述三个偏心槽对应设置；至少三个保护爪，分别与所述三个凸轮随动器对应连接设置；至少三个线轨，分别对应设置于所述三个保护爪上；至少三个挡块，均固定于所述基座；以及至少三个导向螺杆，分别对应穿设于所述三个挡块内；其中当所述气缸的所述活动端作伸缩摆动时，带动所述偏心凸轮盘以所述轴承的外圆柱面为滑动轴作圆周运动，所述三个偏心槽分别作同步偏心运动，使得所述三个凸轮随动器分别带动所述三个保护爪沿所述三个导向螺杆作同步径向运动，所述三个线轨随所述三个保护爪同步运动。