[发明专利]一种光刻照明系统有效
| 申请号： | 201210042697.X | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN103293863A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 周刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/22;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种光刻照明系统，包括高压汞灯、耦合透镜组、石英棒、中继透镜组、掩模板，汞灯发出的光经耦合透镜组会聚，在石英棒中经过多次全反射形成均匀照明光，经过中继透镜组放大，在掩模板上形成具有一定数值孔径、尺寸和均匀性的照明视场；其特征在于：所述中继透镜组用于提升照明视场内边缘视场光照强度。与现有技术相比较，本发明提升了照明视场中边缘视场的光照强度，避免了由于汞灯数值孔径变化造成的影响，从而使汞灯光源和整个照明系统具有更强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 照明 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻照明系统，包括：高压汞灯、耦合透镜组、石英棒、中继透镜组、掩模板，汞灯发出的光经耦合透镜组会聚，在石英棒中经过多次全反射形成均匀照明光，经过中继透镜组放大，在掩模板上形成具有一定数值孔径、尺寸和均匀性的照明视场，其特征在于：所述中继透镜组用于提升照明视场内边缘视场光照强度。
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