[发明专利]基于油溶性纳米颗粒墨水的导电薄膜图案层制备方法无效
| 申请号： | 201210043085.2 | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102593047A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张礼杰;于红斐;邹超;杨云;董幼青;黄少铭 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768 |
| 代理公司： | 温州瓯越专利代理有限公司 33211 | 代理人： | 王阿宝 |
| 地址： | 325000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于油溶性纳米颗粒墨水的导电薄膜图案层制备方法，包括有包括以下步骤：（1）图案化基材制备；（2）将油溶性金属纳米颗粒墨水通过界面自组装方式，将金属纳米颗粒均分填充在图案化基材上的图案区中形成导电薄膜图案层，所述的油溶性纳米颗粒墨水包括有金属纳米颗粒和油溶性有机溶剂；（3）预热处理；（4）清洗多余光刻胶；（5）热处理。本发明基于油溶性金属纳米颗粒墨水，采用界面自组装法制备的金属颗粒薄膜有更优的厚度可控性、更致密，且克服了金属纳米墨水中的有机溶剂与光刻胶互溶的难点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 油溶性 纳米 颗粒 墨水 导电 薄膜 图案 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于油溶性纳米颗粒墨水的导电薄膜图案层制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1)在基材表面设置光刻胶层，利用光刻或电子束光刻技术在光刻胶层上镂空加工出图案区，获得图案化基材；（2)将油溶性金属纳米颗粒墨水通过界面自组装方式，将金属纳米颗粒均分填充在图案化基材上的图案区中形成导电薄膜图案层，所述的油溶性纳米颗粒墨水包括有金属纳米颗粒和油溶性有机溶剂；（3)将经步骤（2）获得半成品在80±5℃下预热处理，预热处理持续时间为5±3分钟；（4)去除多余光刻胶；（5)将经步骤（4）获得的半成品在150±5℃下热处理，热处理持续时间为10±3分钟，在基材上加工出导电薄膜图案层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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