[发明专利]一种石墨烯网的制备方法

摘要

本发明是一种石墨烯网的制备技术，包括以下两个部分：1.石墨烯网的成型:以铜网为模版，做成所需的石墨烯网形状，放入石英管中，在950-1000℃下通过化学气相沉积法制备出包覆于铜网模版表面的石墨烯；2.石墨烯网的转移：将覆有石墨烯的铜网贴在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面，并用平整的玻璃片压平。放入铜腐蚀剂（如过硫酸铵(NH4)2S2O8）中去除铜，清洗后可得到覆在PDMS上的石墨烯网。将PDMS/石墨烯网紧贴在硅片上，在80-90℃的烘烤下，在PDMS上施加1-2kg的压力，保持30-40min，撕除PDMS后就可得到转移在硅片上的石墨烯网。

主权项

一种石墨烯网的制备方法，其特征在于该制备方法包括以下两部分：A. 制备：以所需规格的铜网为模版，将此模版结构放入化学气相沉积腔中的恒温区段，密封石英管，抽真空于10‑15Pa，通入Ar气；然后在H2、Ar气氛中加热到950‑1000℃，并保温30‑40分钟，然后在CH4和H2气氛下生长石墨烯5‑15min，最后在H2、Ar气氛下原位退火并冷却到室温；B. 转移： 1）制备聚二甲基硅氧烷PDMS‑石墨烯网贴片：将生长后的铜网贴在平整的PDMS表面，用玻璃片压平，放入过硫酸铵溶液中，将铜去除，然后在去离子水中清洗干净，即得到PDMS‑石墨烯网贴片；2）转移铜网至硅片上，将PDMS‑石墨烯网粘贴到硅片上，放在加热台上，加热台温度设为80℃，在PDMS上施加1‑2千克的压力，保持30‑40min，将PDMS揭开，石墨烯网就转移到硅片上。