[发明专利]超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法有效
申请号: | 201210043998.4 | 申请日: | 2012-02-24 |
公开(公告)号: | CN102616789A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 刘春江;郭凯;袁希钢;丁晖殿 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置以及操作方法。通常为了得到高纯度的三氯氢硅,需要经过多塔的分离才能将原料中的轻重杂质除去,并且耗费大量的能量。而采用热泵精馏间壁塔装置,在一个间壁塔内就可以实现多种轻重杂质的完全脱除,得到超纯的三氯氢硅,并且通过热泵达到降低能耗的目标。间壁塔内的隔板将塔分为进料段、塔顶段、塔底段以及侧线产品段,在合适的控制参数下,在侧线段的合适位置能得到超高纯度的三氯氢硅产品。本发明的优点在于集合了热泵精馏以及间壁塔的特点,在一塔内完成不同杂质的脱除,在得到超纯三氯氢硅产品的同时大幅度降低能耗,减少设备投资。 | ||
搜索关键词: | 超纯三氯氢硅 分离 精馏 间壁 装置 操作方法 | ||
【主权项】:
超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置,包括间壁塔(1)、冷凝再沸器(15);其特征是在塔(1)中,隔板将塔分为预分离塔和主塔两部分,预分离塔由进料段精馏段(4)和提馏段(5)组成,主塔部分由侧线产品段精馏段(6)和提馏段(7)组成;预分离塔的理论板数在160~320块,进料位置在60~110块理论板,主塔的理论板数在150~230块,侧线采出的位置在60~80块理论板。
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