[发明专利]化合物半导体器件及其制造方法以及电源有效
申请号: | 201210044499.7 | 申请日: | 2012-02-23 |
公开(公告)号: | CN102651387A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 冈本直哉 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | H01L29/41 | 分类号: | H01L29/41;H01L21/28;H02M1/42 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡胜有;吴鹏章 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及化合物半导体器件及其制造方法以及电源,所述化合物半导体器件包括:衬底;形成在衬底上的第一化合物半导体层;形成在第一化合物半导体层上的第二化合物半导体层;以及形成在第一化合物半导体层上的上电极,其中在第一化合物半导体层的位于第一化合物半导体层与第二化合物半导体层之间的界面处的区域中产生二维空穴气,以使得具有随着距上电极的距离增加而降低的空穴浓度。 | ||
搜索关键词: | 化合物 半导体器件 及其 制造 方法 以及 电源 | ||
【主权项】:
一种化合物半导体器件,包括:衬底;在所述衬底上形成的第一化合物半导体层;在所述第一化合物半导体层上形成的第二化合物半导体层;以及在所述第一化合物半导体层上形成的上电极,其中在所述第一化合物半导体层的位于所述第一化合物半导体层与所述第二化合物半导体层之间的界面处的区域中产生二维空穴气,以具有随着距所述上电极的距离的增加而降低的空穴浓度。
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