[发明专利]压电振动元件、具有压电振动元件的压电装置及电子设备无效
申请号: | 201210045730.4 | 申请日: | 2012-02-24 |
公开(公告)号: | CN102651640A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 松本隆伸;山田明法 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/19;H03H9/10 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;张彬 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种压电振动元件、具有压电振动元件的压电装置及电子设备。压电基板(7)具有:振动臂(15a)、(15b);对振动臂的一侧端部之间进行连接的基部(10);分别被形成在振动臂(15a)、(15b)的另一侧端部,宽度较宽且形成了第一槽部(22a)~(24b)的锤部(20a)、(20b);沿着振动臂(15a)、(15b)的振动中心线而被形成的第二槽部(17a)~(18b),其中,弯曲-扭曲结合振动被激励。本发明的压电振动元件(1)以被激励的弯曲-扭曲结合振动中的弯曲振动为主振动,并分别设定压电基板(7)的切割角度、第一槽部以及第二槽部的宽度和深度、以及振动臂的厚度,以使其频率温度特性成为关于温度的三次特性。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动 元件 具有 装置 电子设备 | ||
【主权项】:
一种压电振动元件,其特征在于,包括:多个振动臂;基部,其对各个该振动臂的一侧端部之间进行连接;锤部,其分别与各个所述振动臂的另一侧端部相连接,且宽度宽于各个该振动臂的另一侧端部的宽度;压电基板,其至少具有:在所述锤部的表面以及背面中的至少一个面上沿着所述振动臂的长度方向延伸的第一槽部、以及分别存在于各个所述振动臂的表背面的第二槽部,所述压电振动元件进行频率温度特性为关于温度的三次特性的弯曲‑扭曲结合振动。
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