[发明专利]基板传输机构和具有它的基板传输系统有效
| 申请号： | 201210045987.X | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103287847A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 周卫国 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/91;B65G49/06;B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板传输机构包括：一种基板传输机构，其特征在于，包括：直线运动单元、旋转运动单元和主臂，其中：所述直线运动单元，通过所述主臂与所述旋转运动单元连接，所述直线运动单元用于驱动所述旋转运动单元作直线运动；所述旋转运动单元，用于旋转抓取或者松开基板。根据本发明实施例的基板传输机构，结构简单、操作方便且效率高，可省略了传统的基片传输机构中的通用式机械手臂等设备，成本低。本发明还公开了一种具有上述基板传输机构的基板传输系统。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 机构 具有 系统 | ||
【主权项】：
一种基板传输机构，其特征在于，包括：直线运动单元、旋转运动单元和主臂，其中：所述直线运动单元，通过所述主臂与所述旋转运动单元连接，所述直线运动单元用于驱动所述旋转运动单元作直线运动；所述旋转运动单元，用于旋转抓取或者松开基板。
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