[发明专利]一种三氯氢硅提纯的双热泵精馏装置及操作方法

摘要

本发明涉及一种三氯氢硅分离的双热泵精馏塔装置以及操作方法。通常为了得到多晶硅生产所需的高纯度三氯氢硅，需要经过多塔的分离才能将原料中的轻重杂质除去，同时需要外界提供大量的能量。而采用双热泵精馏塔装置，在一个精馏塔内设置两块隔板，将一个精馏塔分为不同的三个区域，就可以实现单塔内多种轻重杂质的完全脱除，得到高纯度的三氯氢硅，并且通过热泵精馏技术达到降低能耗的目标。精馏塔内的隔板将塔分为预分离塔、脱轻塔和脱重塔，在合适的控制参数下，在脱轻塔的塔底和脱重塔的塔顶同时得到高纯度的三氯氢硅产品。本发明的优点在于集合了热泵精馏技术以及间壁塔的特点，在一塔内完成不同杂质的脱除，得到高纯度三氯氢硅产品(＞99.9999％)，同时降低能耗，减少设备投资。

主权项

一种三氯氢硅提纯的双热泵精馏装置，包括间壁精馏塔、冷凝再沸换热器、压缩机、分离罐、换热器、泵、降压阀以及相应的管线；其特征是在间壁精馏塔中，两块隔板将塔分为预分离塔、脱重塔和脱轻塔三部分，预分离塔由进料段精馏段和进料段提馏段组成，脱轻塔由塔顶分离段和脱轻塔提馏段组成，脱重塔由脱重塔精馏段和塔底分离段组成；进料位置在预分离塔测，产品出口位置在脱轻塔的塔底和脱重塔的塔顶；预分离塔的理论板数在100～200块，进料位置在预分离塔的第50～90块理论板，脱轻塔的理论板数在40～110块，脱重塔的理论板数在40～110块。