[发明专利]一种先进过程控制系统及其测试方法有效
| 申请号： | 201210048437.3 | 申请日： | 2012-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN102540895A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 方晶晶;陈岚;阮文彪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;G05B23/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种先进过程控制系统与该系统的测试方法。该系统与虚拟制造系统相连接，包括：实时错误检测模块，用于从虚拟制造系统的数据采集模块获取虚拟工艺制造过程中的产品性能参数，并比照预设的产品性能参数，对虚拟工艺制造过程中产品性能参数进行错误检测；错误分类与响应模块，用于针对检测出的错误进行分类，并查找产生该错误的原因；反馈/回馈控制模块，用于根据产生该错误的原因，调用相应的校正模型对该错误相关的工艺/设备参数进行校正，得到校正后的工艺设备参数，并将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块。本发明避免了先进过程控制系统嵌入实际工艺线时需要花费大量时间以及工艺设备无法正常进行生产的问题，降低了其测试和验证成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 先进 过程 控制系统 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种先进过程控制系统，其特征在于，与虚拟制造系统相连接，包括：实时错误检测模块，与虚拟制造系统的数据采集模块相连接，用于从虚拟制造系统的数据采集模块获取虚拟工艺制造过程中的产品性能参数，并比照预设的产品性能参数，对虚拟工艺制造过程中产品性能参数进行错误检测；错误分类与响应模块，与所述实时错误检测模块相连接，用于针对检测出的错误进行分类，并查找产生该错误的原因；反馈/回馈控制模块，与所述错误分类与响应模块相连接，用于根据产生错误的原因，调用相应的校正模型对该错误相关的工艺/设备参数进行校正，得到校正后的工艺设备参数，并将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210048437.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：四屏蔽同轴电缆
- 下一篇：固定机构及其电子装置
