[发明专利]一种带电粒子束测量装置有效
| 申请号： | 201210049105.7 | 申请日： | 2012-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN102610478A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 黎明;程焰林;张国亮;程亮;陈磊;赵翔;杨集;金大志;向伟;谈效华 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带电粒子束测量装置，所述测量装置包括阵列绝缘板、多个带电粒子收集单元、总电荷收集板、绝缘垫、外筒和后盖，阵列绝缘板上设有多个带电粒子收集单元和总电荷收集板，带电粒子收集单元和总电荷收集板均有一个贯穿整个阵列绝缘板的导电通道，任意两个带电粒子收集单元之间电绝缘，任意一个带电粒子收集单元与总电荷收集板之间电绝缘。本发明的带电粒子束测量装置含有一个由多个带电粒子收集单元构成的阵列，根据各个不同位置带电粒子收集单元收集的电荷强弱，可以测量脉冲或直流带电粒子束的位置和轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带电 粒子束 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束测量装置，其特征在于：所述的带电粒子束测量装置包括阵列绝缘板（3）、带电粒子收集单元、总电荷收集板（5）、绝缘垫（2）、外筒（1）和后盖（6）；其中，外筒（1）前端设置有开口端，外筒（1）后端设置有阵列绝缘板（3）、带电粒子收集单元、总电荷收集板（5）、绝缘垫（2）和后盖（6）；阵列绝缘板（3）上设置有多个带电粒子收集单元和一个总电荷收集板（5），带电粒子收集单元与总电荷收集板（5）之间有一间隙相互咬合布满整个阵列绝缘板（3）构成探测板；探测板与外筒（1）之间设置有一个绝缘垫（2），后盖（6）与外筒（1）连接用于固定探测板；所述开口端的中心轴线与阵列绝缘板（3）的中心轴线重合；阵列绝缘板（3）和绝缘垫（2）均为电绝缘体，带电粒子收集单元、总电荷收集板（5）和外筒（1）均为电导体，带电粒子收集单元和总电荷收集板（5）均有一个贯穿整个阵列绝缘板（3）的导电通道，任意两个带电粒子收集单元之间电绝缘，任意一个带电粒子收集单元与总电荷收集板（5）之间电绝缘，任意一个带电粒子收集单元与外筒（1）之间电绝缘，总电荷收集板（5）与外筒（1）之间电绝缘。
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