[发明专利]压电振动片及其制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供一种能够不使电阻值R1增加地改善短路故障的压电振动片的制造方法。这是一种利用由压电材料所形成的圆片来制造压电振动片的方法，其特征是在压电板的外表面上构图电极膜以形成一对电极的电极形成工序(S4)包括：在压电板的表面成膜电极膜的电极膜形成工序(S4a)；在电极膜上成膜光刻胶膜的光刻胶膜形成工序(S4b)；通过用于光刻胶图案而配置了第一开口部的掩模对光刻胶膜进行曝光的第一曝光工序(S4c)；以及通过在与第一开口部的一部分相重合的位置配置了第二开口部的校正掩模进一步对光刻胶膜进行曝光的第二曝光工序(S4d)，其中，与一对电极的间隙相对应的第二开口部的开口宽度小于等于与该间隙相对应的第一开口部的开口宽度。

主权项

一种压电振动片的制造方法，利用由压电材料所形成的圆片来制造压电振动片，其特征在于，包括：外形形成工序，通过光刻技术对所述圆片进行蚀刻以形成压电板的外形形状；电极形成工序，在所述压电板的外表面上构图电极膜以形成一对电极，该电极形成工序包括：在所述压电板的表面成膜电极膜的电极膜形成工序；在所述电极膜上成膜光刻胶膜的光刻胶膜形成工序；通过用于光刻胶图案而配置了第一开口部的掩模对所述光刻胶膜进行曝光的第一曝光工序；以及通过在与所述第一开口部的一部分相重合的位置配置了第二开口部的校正掩模进一步对所述光刻胶膜进行曝光的第二曝光工序，与所述一对电极的间隙相对应的所述第二开口部的开口宽度小于等于与所述间隙相对应的所述第一开口部的开口宽度。