[发明专利]化学机械抛光传输机器人的非线性模糊结合递归控制系统有效
| 申请号： | 201210050606.7 | 申请日： | 2012-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN102540896A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 路新春;赵建伟;何永勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种化学机械抛光传输机器人的非线性模糊结合递归控制系统，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，检测器用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；上位机控制器用于接收操作指令；编码器用于检测传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；主控制器用于生成传输机器人的运动指令；运动控制器用于在传输机器人启动时以模糊控制模式计算初始电机控制量并在传输机器人平稳运行后以递归LQ优化控制模式计算电机控制量；每个伺服驱动器用于根据初始电机控制量或电机控制量计算相应电机的控制转矩；多个电机，每个电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动传输机器人运动。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 传输 机器人 非线性 模糊 结合 递归 控制系统 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光传输机器人的非线性模糊结合递归控制系统，其特征在于，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，其中，所述检测器，用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；所述上位机控制器，用于接收用户输入的操作指令；所述编码器分别与所述运动控制器和多个所述电机相连，用于检测所述传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；所述主控制器分别与所述上位机控制器和所述运动控制器相连，用于根据所述操作指令和所述检测信息生成传输机器人的运动指令，并将所述运动指令发送给所述运动控制器；所述运动控制器，用于在所述传输机器人启动时以模糊控制模式计算初始电机控制量，并在所述传输机器人平稳运行后以递归LQ优化控制模式计算电机控制量；多个所述伺服驱动器与所述运动控制器相连，其中，每个所述伺服驱动器用于根据所述初始电机控制量或所述电机控制量计算相应电机的控制转矩；以及多个电机分别与所述多个伺服驱动器和所述传输机器人相连，其中，每个所述电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动所述传输机器人运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210050606.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
