[发明专利]MEMS扩音器有效
申请号: | 201210051207.2 | 申请日: | 2012-03-01 |
公开(公告)号: | CN102655627A | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | W.帕尔;A.莱德尔;M.容孔茨;A.贝尔 | 申请(专利权)人: | 埃普科斯股份有限公司 |
主分类号: | H04R27/00 | 分类号: | H04R27/00;B81B7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘春元;卢江 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及MEMS扩音器。提供了一种由于减小的DC漏电流而具有改善的噪声性能的MEMS扩音器。为此,保持MEMS扩音器的信号线与其它传导结构之间的最小距离。此外,提供了将信号线的至少一部分围起来的DC保护结构。 | ||
搜索关键词: | mems 扩音器 | ||
【主权项】:
一种MEMS扩音器,—包括具有信号输出端的MEMS换能器、具有信号输入端的IC芯片、衬底、信号线和传导结构,其中—MEMS换能器和IC芯片被布置在衬底上,—信号线将MEMS换能器的信号输出端与IC芯片的信号输入端电连接,—由IC芯片经由信号线向MEMS换能器提供DC偏置电压,—传导结构被电连接至不同于DC偏置电压的DC电位,以及—信号线与传导结构之间的最小横向距离被保持在至少200μm。
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