[发明专利]一种光束线同步光位置在线诊断系统无效
| 申请号： | 201210051741.3 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102591228A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 胡纯;张招红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;G01J1/42 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光束线同步光位置在线诊断系统，包括联动控制模块；通过网络与所述联动控制模块连接的运动控制模块；光电流采集模块；以及通过网络分别与所述光电流采集模块以及联动控制模块连接的操作终端。本发明通过联动控制模块协调运动控制模块和光电流采集模块的工作，实现了在丝扫描设备运动的同时进行光电流数据获取的功能，即实现了若干个“定位”和“数据获取”交替进行的过程；同时，通过操作终端分析光电流数据，实现了光束线同步光的在线诊断功能。本发明结构简单，操作方便，智能性高，可有效提高同步光位置诊断效率，并确保诊断精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 同步 位置 在线 诊断 系统 | ||
【主权项】：
一种光束线同步光位置在线诊断系统，其特征在于，所述系统包括：联动控制模块；通过网络与所述联动控制模块连接的运动控制模块，其根据所述联动控制模块输出的控制信号，控制外围丝扫描设备依次移动至预设数量的位置点；光电流采集模块，其根据所述联动控制模块输出的控制信号采集所述丝扫描设备所在的当前位置点的光电流数据；以及通过网络分别与所述光电流采集模块以及联动控制模块连接的操作终端，其一方面分析所述光电流采集模块采集的光电流数据，并根据分析结果诊断同步光位置，另一方面控制所述联动控制模块的启动和停止。
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