[发明专利]共用电极的等离子体增强化学气相沉积装置及方法

摘要

本发明公开了一种共用电极的等离子体增强化学气相沉积装置及方法，包括于一内空外壳内部依次排设且中心重合的若干个侧板，分别作为首电极、若干个间电极和尾电极，所述相邻的首电极、间电极和尾电极之间设有腔体，腔体上设有进气口和出气口；所述首电极通过导线与外部的匹配箱和射频电源相连，作为射频电极；所述尾电极与大地相连作为地电极。本发明的装置结构简单，具有更大的等离子体发生面积；采用本发明装置等离子体制备纳米颗粒，既能保证等离子体的密度，也能保证等离子体的均匀度，制备的纳米颗粒均匀度好，可以持续稳定地生产，适合工业化生产的推广。

主权项

一种共用电极的等离子体增强化学气相沉积方法和装置，其特征在于，包括于一内空外壳内部依次排设且中心重合的若干个侧板，分别作为首电极(1)、若干个间电极(2)和尾电极(3)，所述相邻的首电极(1)、间电极(2)和尾电极(3)之间设有腔体，腔体上设有进气口(4)和出气口(5)；所述首电极(1)通过导线与外部的匹配箱和射频电源相连，作为射频电极；所述尾电极(3)与大地相连，作为地电极。