[发明专利]书写式导电体表面电化学刻蚀方法及其装置无效
| 申请号： | 201210052352.2 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102605415A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 胡志华;曾美华;陈安;邢永强 | 申请（专利权）人： | 迅力光能（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C25F7/00 | 分类号： | C25F7/00;C25F3/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 李艳 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于：采用流量控制装置控制电解液的流量和速度，电解液与电源的阳极端相连，导电体与电源的阴极端相连，电解液与导电体表面接触时形成电化学反应。导电体包括但不限于ITO、ZnO、SnO2等透明导电氧化物。电解液包括但不限于氯化铝、硫酸铝、氯化铁水溶液中的一种或几种。 | ||
| 搜索关键词： | 书写 导电 体表 电化学 刻蚀 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于：采用流量控制装置控制电解液的流量和速度，电解液与电源的阳极端相连，导电体与电源的阴极端相连，电解液与导电体表面接触时形成电化学反应。
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