[发明专利]一种不导电金属膜层镀膜玻璃及其制备方法无效
| 申请号： | 201210052542.4 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102584033A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 赵青南;董玉红 | 申请（专利权）人： | 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 223800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种不导电金属膜层镀膜玻璃及制备方法，该玻璃是用磁控溅射方法从玻璃表面依次向外，在玻璃表面上层叠状镀制颜色调整膜、不导电金属膜、氮化物保护膜；不导电金属膜的方块电阻为5～270兆欧，镀膜玻璃的可见光透射率为20%～42%。制备方法依次为以下步骤：1）.对待镀膜玻璃用电阻大于13兆欧的去离子水清洗，风刀进行干燥；2）.工作气压为0.30～0.25Pa，用Ar和O2反应溅射沉积，其中，体积比Ar/O2=3:1～3:2，在玻璃基片上镀制颜色调整层二氧化锡；3）.工作气压为0.30～0.35Pa，用Ar作为工作气体，在颜色调整层上镀制硅铝合金不导电膜；4）.工作气压为0.30～0.25Pa，用Ar和N2反应溅射沉积，其中，体积比Ar/N2=0.7:1～3:1，在硅铝合金不导电膜上镀制氮化硅保护膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 金属膜 镀膜 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种不导电金属膜层镀膜玻璃，其特征在于该玻璃是用磁控溅射方法从玻璃表面依次向外，在玻璃表面上层叠状镀制颜色调整膜、不导电金属膜、氮化物保护膜；不导电金属膜的方块电阻为5～270兆欧，镀膜玻璃的可见光透射率为20%～42%。
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