[发明专利]一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法无效
| 申请号： | 201210052726.0 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102590280A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 谢光忠;蒋亚东;杜晓松;太惠玲;朱涛;周泳;廖剑 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 杨保刚;徐丰 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法，包括至少4个独立的传感器单元，所述传感器单元采用微井结构，在各微井间设有聚酰亚胺隔离层；在所述微井井内沉积有以有机薄膜、有机/无机复合薄膜或有机-无机多层膜构成的敏感膜，微井表面设置有叉指电极。本发明在各微井间设置有聚酰亚胺隔离层，电子聚合物敏感材料滴入其中一个微井时，能有效阻止敏感材料溢出、流进其相邻的微井，不会造成不同微井间敏感材料的交叉污染，从而保证了传感器的选择性和稳定性；并且结构简单，加工成本较低，在大气环境监测、航天密闭舱空气质量检测及食品安全等领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 气体 传感器 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于微井结构的气体传感器阵列，包括至少4个独立的传感器单元，其特征在于：所述传感器单元采用微井结构，在各微井间设有聚酰亚胺隔离层；在所述微井井内沉积有以有机薄膜、有机/无机复合薄膜或有机‑无机多层膜构成的敏感膜，微井表面设置有叉指电极。
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