[发明专利]单腔双电极放电腔及准分子激光器无效
申请号: | 201210053057.9 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN102810810A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 王宇;周翊;丁金滨;刘斌;张立佳;赵江山;沙鹏飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
主分类号: | H01S3/03 | 分类号: | H01S3/03;H01S3/23 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于激光器技术领域,具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器,其包括腔体和两套主放电电极,所述腔体包括左右两室,以形成对称的双室结构腔形,每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形,所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通,所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。本发明通过一个单腔结构实现MOPA、MOPO、MOPRA结构的双腔功能,既降低了系统的复杂性,又保证了放电腔的放电同步性。 | ||
搜索关键词: | 单腔双 电极 放电 准分子激光 | ||
【主权项】:
一种单腔双电极放电腔,包括腔体(1)和两套主放电电极,其特征在于:所述腔体(1)包括左右两室,以形成对称的双室结构腔形,每个室的截面形状均为上小下大的形状,所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通;所述两套主放电电极分别位于左右两室,且其放电区(2)分别位于所述左右两室的上部。
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